Intel聯手ASML，為2025年High-NA EUV量產鋪路

Intel 曾於 2021 年 7 月的 Accelarated 活動中宣布部署 High-NA（高數值孔徑）技術的計畫，現在已向 ASML 下訂業界首台 TWINSCAN EXE:5200 系統，寄望於 2025 年實現 High-NA 量產。