NVIDIA 於 GTC 2023 推出 cuLitho 函式庫,與台積電(TSMC)、ASML、Synopsys(新思科技)等半導體大廠合作,運用 Hopper 架構的 NVIDIA H100 GPU,提升運算式微影技術的效率逾 40 倍。同時協助晶圓廠提高產量、減少碳足跡,且為 2nm 及更先進的製程發展奠定基礎。
目前最先進的晶圓製程是採用運算微影技術,透過逆向物理演算法,來預測最終產生在晶圓上圖案的光罩(晶片設計範本)圖案。它也得模擬 Maxwell 方程式中,光線通過光學元件,並與光阻劑交互作用的行為。
因此,一直以來,運算式微影技術是整個晶片設計和製造過程中,需要耗用最大運算工作量的環節,也必須仰賴大規模資料中心的高性能運算伺服器才有辦法完成。
如若導入 cuLitho 技術,台積電僅需要透過 500 台 NVIDIA DGX H100 伺服器(內含 4000 個 NVIDIA H100 GPU),便可做到相當於 4 萬台 CPU 伺服器的運算工作量。耗用的電力也從原本 35 兆瓦縮減至 5 兆瓦。
此外,原本使用 CPU 需要兩週時間才能生產出一個光罩,若透過 GPU 執行 cuLitho,便只需要 8 小時便可處理完成。
短期來看,使用 cuLitho 的晶圓廠可以每天將用電量減少 9 倍,又將光罩生產量增加 3 ~ 5 倍。從長遠來看,cuLitho 將有助於創造出更好的設計規則、更高密度、更高產量及人工智慧驅動的微影技術,同時加快上市時間。
台積電將從今(2023)年 6 月起,採用 cuLitho 技術加速生產。